洁净度级别确认

一、洁净度级别的定义

洁净室的级别是按其空气洁净度划分的。1963年，发明了单向流理念的圣地亚公司的专家们，在美国军方、政府部门和同行们的支持下撰写了第一个FS 209标准，以0.5μm粒径的悬浮粒子数量作为洁净度级别判定的依据。该标准对洁净室的设计和运行产生了巨大的影响，并成为包括ISO 14644-1在内的诸多国际标准的基础。FS 209在更新至版本E后被ISO 14644-1所取代，但老版本仍被广泛采用。下面是FS 209E和ISO 14644-1:2015的分级示意图：

FS 209E标准

NO	等级名称		等级限值
			0.1		0.2		0.3		0.5		5
			容积单位		容积单位		容积单位		容积单位		容积单位
	国际单位	英制单位	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³	m³	ft³
1	M1		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10	0.283	——	——
2	M1.5	1	1240	35	265	7.5	106	3	35.3	1	——	——
3	M2		3500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	——	——
4	M2.5	10	12400	350	2650	75	1060	30	353	10	——	——
5	M3		35000	991	7570	214	3090	87.5	1000	28.3	——	——
6	M3.5	100	——	——	26500	750	10600	300	3530	100	——	——
7	M4		——	——	75700	2140	30900	875	10000	283	——	——
8	M4.5	1000	——	——	——	——	——	——	35300	1000	247	7
9	M5		——	——	——	——	——	——	100000	2830	618	17.5
10	M5.5	10000	——	——	——	——	——	——	353000	10000	2470	70
11	M6		——	——	——	——	——	——	1000000	28300	6180	175
12	M6.5	100000	——	——	——	——	——	——	3530000	100000	24700	700
13	M7		——	——	——	——	——	——	10000000	283000	61800	1750

ISO 14644-1:2015标准

ISO 等级	等于和大于粒径的最大可允许浓度（粒子/m³）
ISO 等级	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
1	10	——	——	——	——	——
2	100	24	10	——	——	——
3	1000	237	102	35	——	——
4	10000	2370	1020	352	83	——
5	100000	23700	10200	3520	832	——
6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
7	——	——	——	352000	83200	2930
8	——	——	——	3520000	832000	29300
9	——	——	——	35200000	8320000	293000

二、洁净度检测方法

在洁净度级别的判定和日常检测中，检测人员应确认以下测试参数：

• 最小采样点的个数

• 采样点的位置

• 最少采样体积和采样时间

三、检测周期

• A、B级区域最长检测间隔不应超过6个月；

• C、D级区域最长检测间隔不应超过12个月

四、检测设备

检测所使用的粒子计数器应有有效的校准证明：校准的频率和方法应按ISO 21501-4所述的现行认可规定来执行。

洁净度级别确认(尘埃粒子)