General 概述
确定洁净室、洁净区或受控区性能测试的顺序时，应特别小心。测试的选择和顺序应在客户和供应商之间确定，并应尽可能早地检测不符合项，而不损害顺序中的其他测试。
ISO 14644-3 附件 A.2 Test checklist 测试清单
Table A.1 provides a checklist of test and apparatus.
表A.1 提供了测试和仪器清单-风速测试
Table A.1 — Checklist of supporting tests
表A.1 — 支持性测试列表-风速测试
表A.1(续) 提供了测试和仪器清单-风量测试
Table A.1 — Checklist of supporting tests
ISO 14644-3 附件C.2 风速测试设备和C.3 风量测试设备最低要求
The minimumrequirements for the air velocity test apparatus are given in TableC.2.
表 C.2给出了风速测试设备的最低要求
Table C.2—Air velocity test apparatus
表C.2—风速测试设备
The minimum requirements for the air volumeflow rate test apparatus are given in TableC.3.
表 C.3给出了空气风量测试设备的最低要求
表C.3—风量测试设备
结合附件A和附件C气流测试应用的设备
美国Shortridge 860C/870C风速风压风量测量仪
风速范围：毕托管：0-30000FPM@读数的±3%
风速测杆：50-5000FPM@读数的±3%(适用于860C/870C)
风速格栅：50-2500FPM@读数的±3%(适用于860C/870C)
温度范围：-37-250℉@±0.5℉
压差范围：0.0001-60in Wc@读数的±2%
绝对压力范围：14-40 in Hg@读数的±2%
美国Shortridge 880C风速风压风量测量仪
风速范围：毕托管：0-30000FPM@读数的±3%
风速测杆：50-5000FPM@读数的±3%
风速格栅：50-2500FPM@读数的±3%
温度范围：-67-250℉
压差范围：0~15000Pa
绝对压力范围：精度：±2%或±0.1 英寸汞柱（在14~40 英寸汞柱范围内）
美国Shortridge 860C / 870C/880C区别：
美国Shortridge CFM-88风量测量仪（风量罩）
测量范围：
送风口25-2500CFM
排风口25-1500CFM
测量精度：读数的±3%或±7CFM
(在100-200CFM范围内)
随机风量罩尺寸：2*2英尺（标准）
可选风罩尺寸：2*4,1*4,1*5,3*3英尺