气流流型及流向验证的目的是确认气流流型、方向及其均匀性与设计和性能技术要求相符。

洁净室中的气流流型分为两大类：单向流（层流）和非单向流（紊流/乱流）。

验证气流流型的主要方法有示踪剂法和示踪线法，即使用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向。发烟源可使用超声波雾化（0.5μm~50μm水雾）的DI水，在高强度光源下进行示踪

使用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，配合高强度光源示踪。