高效过滤器作为拦截粒子的屏障,是洁净室能否维持相应洁净等级的重要保障。当
高效过滤器存在漏点时,洁净室的洁净度等级将面临超限的风险,产品的放行将会受到挑战。
周期:
对于A、B级区,高效检漏的周期一般是半年进行1次;C、D级区一般为1年进行1次。两次检漏的间隔时间最长不宜超过24个月。
方法:
检测方法分为气溶胶光度计法及粒子计数器法。
基本方法为:在过滤器上风向引入检测气溶胶,在过滤器的下风向对过滤器及其支撑架进行扫描;或在下风向的风管中采样。
由于高效过滤器需要在大剂量的气溶胶环境中才有可能暴露出漏点,因此我们通常在检漏时采用气溶胶加光度计的挑战性测试方法:通过在过滤器上游发出远超自然尘浓度的人工尘,然后使用光度计检测高效过滤器下游处的漏点位置或泄漏率。
粒子计数器法则更多地应用于过滤器厂家检测MPPS(最易穿透粒径)或对发烟浓度有着更低要求的电子行业高效检漏等场景。
应当注意的是,高效检漏宜在风速、风量、静压差测试完成后进行。