在进行高效检漏、洁净度级别确认等测试之前,我们通常都应先进行风速风量的测试,以确保上述检测结果不合格时可以对其原因进行追溯性判定,同时风速风量测试也是确认洁净室是否达到设计目标的重要指标之一。无论是在国际或国内标准中,风速风量测试都被放在了洁净室必测项目中应优先进行的位置,足见其重要性。
可用单向流的风速来测定单向流洁净室的性能。可以在靠近终端送风过滤器表面的位置或是在室内测量风速。方法是规定出与送风气流成直角的测量截面,然后把其分成面积相等的测量点(方格单元)
应该在距过滤器表面或入口截面约150 mm ~ 300 mm的位置测量风速。风速风量的最长检测间隔时间不宜超过12个月。