气流流型及流向验证的目的与方法

气流流型及流向验证的目的是确认气流流型、方向及其均匀性与设计和性能技术要求相符。
洁净室中的气流流型分为两大类：单向流（层流）和非单向流（紊流/乱流）。
验证气流流型的主要方法有示踪剂法和示踪线法，即使用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向。发烟源可使用超声波雾化（0.5μm~50μm水雾）的DI水，在高强度

使用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，配合高强度光源示踪。
气流流向检测方法分为以下四种：

• 示踪线法
• 示踪剂法
• 采用图像处理技术的气流显形检查
• 借助速度分布测量的气流显形检查

气流流向（定向流）的最长检测间隔时间不宜超过12个月