根据IEST-RP-CC-034.1中的定义,对0.3μm粒径粒子的最小拦截效率达到99.97%的过滤器被称为高效过滤器,即High Efficiency Particulate Air,简称HEPA。
高效空气过滤器的常用滤料有超细玻璃纤维等,被广泛应用于洁净室空调机组送风末端、洁净室末端以及各类层流设备当中。
为什么要对进行高效过滤器检漏?
高效检漏测试旨在验证洁净室设施不存在旁路渗漏,过滤器不存在缺陷(过滤器介质和密封框架上的小孔、其他损伤,以及过滤器边框泄漏),从而确认终端高效过滤器安装良好。高效过滤器作为拦截粒子的屏障,是洁净室能否维持相应洁净等级的重要保障。当高效过滤器存在漏点时,洁净室的洁净度等级将面临超限的风险,产品的放行将会受到挑战。