洁净室的自净时间（也称为恢复时间）是衡量洁净室在受到污染后恢复到其指定洁净度水平能力的重要指标。ISO标准对此有明确要求，主要参考ISO 14644系列标准，尤其是ISO 14644-3，该标准详细规定了洁净室的测试方法，包括自净时间的检测要求。以下是对这些要求的完整说明：
· 自净时间的定义 ·
自净时间是指洁净室在经历一次污染事件后，空气中的粒子浓度从高水平降回到其指定洁净度等级允许的水平所需的时间。这一指标反映了洁净室通风系统和过滤系统清除污染物的效率。
· ISO标准中的检测要求 ·
根据ISO 14644-3，洁净室自净时间的检测方法和相关要求包括以下几个方面：
1. 测试原理
- 测试通过在洁净室内引入已知数量的粒子（通常使用人工气溶胶）来模拟污染事件。
- 使用粒子计数器监测洁净室内粒子浓度的变化，记录从污染峰值降回到洁净室分类标准允许的粒子浓度水平所需的时间。
2. 测试条件
- 测试可在洁净室处于静态（at rest）或动态（operational）状态下进行，具体取决于洁净室的设计和使用要求。
- 引入的粒子尺寸应与洁净室分类相关的标准相匹配。例如，对于ISO 5级洁净室，通常关注0.5微米及以上的粒子。
3. 测试步骤
- 在洁净室内选择合适的采样点，通常是关键区域或具有代表性的位置。
- 使用粒子计数器连续监测空气中的粒子浓度。
- 引入粒子污染源，使洁净室内的粒子浓度暂时升高。
- 记录粒子浓度从峰值降回到洁净室分类标准允许水平的时间。
4. 验收标准
- 自净时间应符合洁净室的设计规范和行业要求。ISO标准未规定统一的时间数值，因为这取决于洁净室的级别、设计和具体应用。
- 例如，对于ISO 5级洁净室，自净时间通常要求在15~20分钟内恢复到指定水平，但具体数值可能因实际需求而有所不同。
5. 测试频率
- 自净时间测试通常在以下情况下进行：
- 洁净室初次验证。
- 定期再验证。
- 洁净室发生重大改动后。
- 根据ISO 14644-2，测试频率应根据洁净室的分类和风险评估来确定。
· 总结 ·
ISO标准要求洁净室的自净时间检测通过模拟污染事件并监测粒子浓度的恢复情况来评估洁净室的恢复能力。具体方法和条件在ISO 14644-3中有详细规定，测试需考虑粒子类型、采样点选择和洁净室状态等因素。虽然标准未给出具体的自净时间数值，但要求其满足洁净室设计和应用的需求。这一测试是洁净室性能验证的重要组成部分，确保其在污染后能够快速恢复到指定洁净度水平。