以下是对ISO 14644-3标准中洁净室高效过滤器泄露测试要求的详细说明：
1.测试目的
ISO 14644-3标准规定了高效过滤器泄露测试的主要目标：
· 确保过滤效率：验证高效过滤器在安装后能够满足洁净室的设计要求。
· 检测泄漏点：检查过滤器是否存在泄漏，以保证洁净室的空气洁净度。
2. 测试方法
标准中提供了两种常用的测试方法：
· 扫描法：使用粒子计数器在过滤器表面进行扫描，检测是否存在泄漏点。
· 光度计法：通过光度计测量过滤器下游的粒子浓度，判断是否存在泄漏。
3. 测试标准
ISO 14644-3对测试的具体技术要求进行了明确规定：
· 泄漏定义：当过滤器下游的粒子浓度超过上游浓度的**0.01%**时，视为存在泄漏。
· 扫描速度：扫描速度应控制在5 cm/s至20 cm/s之间。
· 采样流量：测试仪器的采样流量应为28.3 L/min（1 cfm）。
4. 测试步骤
高效过滤器泄露测试需按照以下步骤进行：
· 准备工作：清洁过滤器表面，确保无灰尘、杂物等干扰因素。
· 仪器校准：对粒子计数器或光度计进行校准，确保测量准确。
· 上游浓度测量：在过滤器上游测量背景粒子浓度，作为参考值。
· 扫描测试：在过滤器表面进行扫描，记录下游粒子浓度的变化。
· 泄漏判断：根据测试数据，判断是否满足泄漏标准。
5. 验收标准
测试结果的判定基于以下标准：
· 无泄漏：下游粒子浓度不超过上游浓度的0.01%，表示过滤器性能合格。
· 有泄漏：下游粒子浓度超过上游浓度的0.01%，需对过滤器进行修复或更换。
6. 注意事项
为确保测试结果的可靠性和安全性，需注意以下事项：
· 测试应在洁净室正常运行状态下进行。
· 测试人员需穿戴符合洁净室要求的服装，避免引入污染。
· 测试过程中应避免对过滤器造成机械损伤。
7. 记录与报告
测试完成后，需进行详细记录并编制报告，内容包括：
· 测试的基本信息：日期、时间、测试人员、使用的仪器等。
· 测试数据：上游和下游粒子浓度、泄漏情况等。
· 测试报告：整理结果并提交给相关人员，用于验收或存档。
8. 定期测试
ISO 14644-3建议：
· 高效过滤器应每年至少进行一次泄露测试。
· 在过滤器更换或维修后，必须重新进行泄露测试，以验证性能。
9. 适用范围
ISO 14644-3标准适用于所有洁净室和相关受控环境。高效过滤器泄露测试是洁净室验收和日常维护的重要环节，确保空气质量符合设计要求。
10. 总结
ISO 14644-3对洁净室高效过滤器泄露测试的要求涵盖了测试目的、方法、技术标准、操作步骤、验收标准、注意事项、记录要求、测试频率以及适用范围。通过严格执行这些要求，可以确保高效过滤器的性能，保障洁净室的洁净度和运行可靠性。