恢复测试的目的是确定非单向气流洁净室或洁净空间及其系统在洁净空间内短暂的颗粒生成事件后达到规定的稳定状态洁净度水平所需的时间。不建议在单向气流洁净空间或ISO 8级区域进行此测试。
· 仪器和设备 ·
· 气溶胶发生器或气流可视化发生器。
· 离散粒子计数器。可选配气溶胶光度计。
· 测试程序 ·
· 点的数量和点的位置有待确定。
· 确保洁净室 HVAC 系统正常运行。
· 按照制造商的说明设置粒子计数器或光度计。
注意：使用粒子计数器时建议使用气溶胶稀释器，以避免巧合损失和光学元件污染。
· 采样探头不应直接安装在 HEPA 过滤器或室内空气供应下方。
· 识别测试区域内气流不畅的区域、湍流区域等。样品探头应略高于工作台面高度或潜在产品暴露高度。
· 一台远程仪器最多可测量四个采样点。最长 8 米（26 英尺）的采样管可从洁净室延伸至粒子计数器/光度计。每个采样点将每隔 15 秒按顺序从每个采样管中取样。
· 在空气处理机组运行时，在待测洁净室或洁净空间内产生颗粒物挑战。将初始颗粒浓度提高至目标洁净度等级的 1,000 至 10,000 倍。
· 停止气溶胶挑战，记录开始时间，然后开始测量气溶胶浓度。每分钟记录6秒至12秒的采样周期内的气溶胶浓度，直到颗粒数量恢复到目标清洁度水平的十倍。
· 记录并绘制每个样本位置的粒子浓度与时间的关系。
· 恢复时间是指颗粒浓度下降两个数量级所需的时间（以分钟为单位），即每个位置从目标浓度的1000倍恢复到目标浓度的10倍所需的时间。洁净室中恢复速度最慢的位置决定了房间的恢复率。